CIS

WS-12S

產品特色​

WS-12S 是一台全自動化生產/高潔淨度/高取放速度/高放置精度的tape frame to tape frame IC Mapping Sorter,可依據wafer mapping資料,將黏貼於薄膜上之晶粒取出 ( resort),並分類貼放於所屬的frame上。分類數為1 bin(獨立bin卡匣),最多可分類 13 bins(單一 bin frame)。設備進/出料端可自由選配及更換 8″或12″ Kit,可將產品於相同或不同吋別之Frame間sorting。

  • Frame垂直式設計,落塵汙染最小。
  • 取放臂長距離最短,高速排列精度高且穩定。
  • 嚴格Map挑撿法則確保分選正確性。
  • 挑撿失敗Sensor感度程式控制。
  • 配置特殊軟體功能:補空洞及接Bin。

產品規格:

  • Wafer size : 適用8”、12” Disco Frame
  • Chip size : 0.2mm x 0. 2mm ~ 1 2mm x 1 2mm,T=100 ~ 800um
  • Cycle Time : 240ms@chip size 3mm x 3mm,T=150um。Wafer to Bin,單一Bin連續挑揀。θ不轉正。
  • Place Accuracy : X、Y ≦± 25 um & 角度 ≦± 1°@3σ(Chip Size 3mm x 3mm )
  • 固晶工作面積 : 8″ø 200mm、12″ø 300mm(需治具轉換 )
  • Loader卡匣:1個(13片/卡匣收納)
  • unloader卡匣:1個 (13片/卡匣收納)
  • 光機規格:Wafer CCD、Bin CCD : 相機:2MP黑白,鏡頭:變倍鏡,Pixel:3~19.15(um),FOV:4.8 x 3.6~30.6 x 22.9 (mm),光源:外同軸光(紅),建議14 x 14區域為均勻

WS-12T

產品特色

WS-12T為一台可從12吋Flat Ring挑揀良品再固晶至8吋Flat Ring的設備。

  • Frame垂直式設計,落塵汙染最小。
  • 取放臂長距離最短,高速排列精度高且穩定。
  • 嚴格Map挑撿法則確保分選正確性。
  • 挑撿失敗Sensor感度程式控制。
  • 配置特殊軟體功能:補空洞及接Bin。

產品規格:

  • Wafer size : 適用8”、12” Disco Frame
  • Chip size : 0.2mm x 0. 2mm ~ 1 2mm x 1 2mm,T=100 ~ 800um
  • Cycle Time : 240ms@chip size 3mm x 3mm,T=150um。Wafer to Bin,單一Bin連續挑揀。θ不轉正。
  • Place Accuracy : X、Y ≦± 25 um & 角度 ≦± 1°@3σ(Chip Size 3mm x 3mm )
  • 固晶工作面積 : 8″ø 200mm、12″ø 300mm(需治具轉換 )
  • Loader卡匣:1個(13片/卡匣收納)、附擴張機構 (馬達式)
  • unloader卡匣:3個 (25片/卡匣收納)
  • Wafer CCD、Bin CCD : 1600×1200 pixel (單色)。鏡頭:內部同軸。FOV:3mm×3mm ~ 12mm×12mm。光源:外同軸光(紅),亮度可調整。